●半導体製造装置：日米韓はなお高成長も台湾半減／２月の全世界販売、13.5％増に

●半導体製造装置日米韓はなお高成長も台湾半減２月の全世界販売、13.5％増に　日本半導体製造装置協会（ＳＥＡＪ）と国際半導体製造装置材料協会（ＳＥＭＩ）がまとめた２月の全世界規模の製造装置販売額は、30億5,703万ドルで前年同月比13.5％増だった。これで99年７月以来19カ月連続の前年比プラスだが、一時の倍増を続けた伸び率に比べると鈍化は否めない。　市場別にみると、日本は８億9,98...