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2001年5月28日

●半導体製造装置<3月>全世界販売、21カ月ぶり前年割れ/日米なお増も台湾大幅減で最下位

●半導体製造装置<3月> 全世界販売、21カ月ぶり前年割れ 日米なお増も台湾大幅減で最下位  日本半導体製造装置協会(SEAJ)と国際半導体製造材料協会(SEMI)がまとめた3月の全世界規模の製造装置販売額は39億5,863万5,000ドルで前年同月比10.6%減と、99年6月以来1年9カ月ぶりに前年割れとなった。  主力のウエハープロセス用処理装置が28億3,178万3,000ドルで2.4%増...