●半導体製造装置＜02～05年度予測＞／03・04年度は連続２ケタ成長が続く 液晶パネル装置は05年度に20％増／SEAJ、日本製・日本市場販売高予測

●半導体製造装置＜02～05年度予測＞ 03・04年度は連続２ケタ成長が続く 液晶パネル装置は05年度に20％増 SEAJ、日本製・日本市場販売高予測 　日本半導体製造装置協会（ＳＥＡＪ）がまとめた2002年度～2005年度の半導体製造装置および液晶パネル製造装置の需要予測によると、半導体製造装置の日本製装置販売高（海外向けを含む）は02年度が6.1％増、日本市場販売高（外資製国内向け含む）は3...