●半導体製造装置＜２月＞／日本製、販売・受注とも依然好調

●半導体製造装置＜２月＞ 日本製、販売・受注とも依然好調 　日本半導体製造装置協会（ＳＥＡＪ）がまとめた２月の製造装置販売高は、日本製装置（海外向け含む）が1,198億２千万円で前年同月比52％増、日本市場（外資性国内向け含む）が489億3,500万円・同51.7％増だった。日本製は昨年10月以来５ヵ月連続、日本市場は一昨年９月以来18ヵ月連続の前年比増加。 　一方、２月の製造装置受注高は、日本...