半導体製造装置　５月の日本市場受注84.9％減

　日本半導体製造装置協会（ＳＥＡＪ）がまとめた５月の半導体製造装置の日本市場（外国製国内向け含む）の受注高（暫定値）は前年同月比84.9％減の119億6400万円となり、21カ月連続で減少した。特に最大のウエハープロセス用処理装置が84.7％減の97億5900万円と落ち込んだ。受注高の前月比は36.1％増と２カ月ぶりのプラス。　販売高は88.5％減の72億5700万円となり18カ月連続のマイナス。...