2023年10月25日
【展望台】クリーンルーム搬入
温度=23度プラスマイナス3度、湿度=45%プラスマイナス15%。着衣からの埃、呼吸に含まれるダスト、汗の一部のイオン…あらゆる不純物を持ち込まないよう、ナノ(100万分の1ミリ)レベルのパーティクル(微粒子)の発生を抑える、極めて高い清浄度の特殊な空間。それが、半導体工場のクリーンルームだ。
ファンドリー(半導体受託生産)世界最大手、台湾TSMCの熊本新工場向け半導体製造装置の搬入が今...
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