大日本スクリーン　枚葉式半導体洗浄装置が60％超に　世界トップシェアに

　半導体製造装置大手の大日本スクリーン製造（京都市）は先週、昨年、枚葉式スプレー洗浄装置の世界シェアが60・３％（07年40・６％）で、トップシェアを獲得したと発表した。これにより、同社の半導体製造の洗浄工程における主要装置はすべて50％以上の世界シェアとなった。同洗浄装置は彦根地区事業所で生産。シェアはガードナーのデータ。　半導体製造工程の約４分の１を占めるウエハー洗浄工程では、枚葉式スプレー洗...