ＳＥＡＪ　２月の受注高／前年比93％減

　日本半導体製造装置協会（ＳＥＡＪ）がまとめた２月の日本製半導体製造装置（海外向け含む）の受注高は、前年同月比93％減の73億5300万円となり24カ月連続のマイナスだった。受注高は前月比でも41.9％減となり減少に歯止めがかからない状況だ。　特に最大のウエハープロセス用処理装置が前年同月比で92.7％減、前月比38.4％減の55億700万と大きく落ち込んだ。　販売高は前年同月比76％減の287億...