2011年2月23日
日立ハイテク 米企業の半導体製造装置輸入 差止申立を東京税関受理
日立ハイテクノロジーズはこのほど、半導体の製造ラインなどで使われる米国のFEI社製FIB/SEM装置(集束イオンビーム装置)が、日立ハイテクノロジーズの集束イオンビーム関連技術の特許権を侵害しているとして、東京税関に2回目の輸入差止申立を行い、正式に受理された。
今回、日本の税関で輸入差止手続の対象となったのは、FEI製「Helios NanoLab 450S」「Quanta 3D 200...
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