大日本スクリーン製造　新型洗浄装置を発売

　半導体製造装置大手の大日本スクリーン製造（京都市）は、今月から世界最高の生産性を持つ次世代枚葉式ウエハー洗浄装置「ＳＳ―3200」を発売した。出荷は国内もあるが、同社によると輸出では大手半導体メーカーの工場がある韓国、台湾および欧米などに出荷する。年間の販売計画は約100台。 　同社は半導体製造装置の洗浄装置部門で世界トップ。１年前、世界最高の毎時800枚の処理能力を持つ枚葉式の次世代洗浄装置...