ラピダス、セミコンジャパンで公表
半導体装置搬入今週開始、EUV間もなく

　先端ロジック半導体製造のラピダスは、北海道千歳市で建設中の工場「IIM-1」への半導体製造装置の搬入を今週開始した。11～13日に東京ビッグサイトで開催されている半導体関連の国際展示会「SEMICON Japan（セミコンジャパン）2024」に出展し、11日に同社ブースで実施したセミナーで明らかにした。装置が搬入されるのは同工場の前工程試作ラインで、「（同ラインで）来年4月1日に2ナノ試作品のウ...