ラピダス
EUV露光装置搬入・設置作業開始
蘭ASML製をNCAで輸送

　先端ロジック半導体製造のラピダスは18日、北海道千歳市で建設中の工場「IIM-1」にオランダ露光装置メーカー、ASMLのEUV（極端紫外線）露光装置を搬入し、設置作業を開始したと発表した。同装置を搭載した日本貨物航空（NCA）運航の航空チャーター初便が同国アムステルダム・スキポール空港を出発して14日午後、新千歳空港に到着していた。量産対応のEUV露光装置は国内初導入となり、18日に新千歳空港ポ...