ラピダス
セイコーエプソン千歳に装置搬入開始
後工程試作ライン向け

　先端ロジック半導体製造のラピダスはこのほど、北海道千歳市のセイコーエプソン千歳事業所内に整備する半導体後工程の研究開発拠点「RCS（ラピダスチップレットソリューションズ）」について、4月から半導体製造装置の導入を開始すると発表した。同事業所は同市で建設中のラピダス工場「IIM-1」に隣接しており、昨年10月から稼働に向けて準備してきた。「IIM-1」では、第1期設備輸送と位置づけられるパイロット...